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Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)
Bando pubblicato in inglese. L'analisi IA glielo riassume nella sua lingua.
Presentazione delle offerte tra 18 giorni — 10 novembre 2026
«Voglio questo appalto»: monitoraggio, promemoria e fascicolo di offerta preparato dall'IA (ammissibilità, pianificazione, lettera di candidatura, offerta tecnica).
- Acquirente pubblico
- Uppsala universitet
Uppsala - Luogo di esecuzione
- Uppsala
- Fine prevista del contratto
- 14 dicembre 2037
- Procedura
- Procedura aperta
Qualsiasi impresa può presentare un'offerta. - Pubblicazione
- 12 ottobre 2026
- Lingua dell'avviso
- Inglese
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Descrizione
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment.
It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Codici CPV
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42000000
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Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Riferimento 700865-2026.