PublizoomVergabebekanntmachung Lieferungen
ALD-Anlage
- Öffentlicher Auftraggeber
- Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Jena - Ausführungsort
- Jena
- Geschätzter Wert
- 461.344 € zzgl. MwSt.
- Zuschlagsbetrag
- 461.344 € zzgl. MwSt.
- Voraussichtliches Vertragsende
- 5. September 2027
voraussichtliche Neuausschreibung um März 2027 - Eingegangene Angebote
- 5
- Verfahren
- Offenes Verfahren
Jedes Unternehmen kann ein Angebot abgeben. - Veröffentlichung
- 22. September 2026
- Sprache der Bekanntmachung
- Deutsch
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Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten.
Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Zuschlag an
CPV-Codes
Europäische Codes, die den Auftragsgegenstand einordnen. Damit finden wir die Ausschreibungen Ihres Gewerbes.
38000000
Siegerpreise vergleichbarer Aufträge
- Ein Viertel unter
- 121.025 €
- Median
- 244.385 €
- Ein Viertel über
- 458.150 €
Zuschlagsbeträge (netto) der letzten 3 Jahre für 88 Aufträge derselben CPV-Gruppe (3800…), ohne Rahmenvereinbarungen. Die Hälfte der Aufträge liegt zwischen den beiden Quartilen. Quelle TED: überwiegend Aufträge oberhalb der EU-Schwellenwerte, also eher hohe Beträge.
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asphericon GmbH | – |
Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Referenz 650714-2026.