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Vergabebekanntmachung Lieferungen

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Öffentlicher Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Erlangen
Ausführungsort
Erlangen
Eingegangene Angebote
1
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf zum Wettbewerb
Sie reichen zuerst einen Teilnahmeantrag ein; die ausgewählten Bewerber geben ein Angebot ab und verhandeln dann mit dem Auftraggeber.
Veröffentlichung
10. Juli 2026
Sprache der Bekanntmachung
Deutsch

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Beschreibung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Zuschlag an

CPV-Codes

Europäische Codes, die den Auftragsgegenstand einordnen. Damit finden wir die Ausschreibungen Ihres Gewerbes.

42900000

Siegerpreise vergleichbarer Aufträge

Ein Viertel unter
1 €
Median
55.426 €
Ein Viertel über
202.400 €

Zuschlagsbeträge (netto) der letzten 3 Jahre für 8 Aufträge derselben CPV-Gruppe (4290…), ohne Rahmenvereinbarungen. Die Hälfte der Aufträge liegt zwischen den beiden Quartilen. Quelle TED: überwiegend Aufträge oberhalb der EU-Schwellenwerte, also eher hohe Beträge.

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AuftragGewinnerBetrag
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Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Referenz 476033-2026.