Vergabebekanntmachung Lieferungen

BEOL etch platform

Bekanntmachung auf Niederländisch veröffentlicht. Die KI-Analyse fasst sie für Sie in Ihrer Sprache zusammen.

Offizielle Bekanntmachung und Unterlagen

Öffentlicher Auftraggeber: Imec EU Pilot line NV
Heverlee
Ausführungsort: 3001 Heverlee, Flämisch-Brabant
nicht veröffentlicht: Adresse des Auftraggebers
Voraussichtliches Vertragsende: 31. Dezember 2028
voraussichtliche Neuausschreibung um Juli 2028
Eingegangene Angebote: 1
Verfahren: Verhandlungsverfahren mit Aufruf zum Wettbewerb
Sie reichen zuerst einen Teilnahmeantrag ein; die ausgewählten Bewerber geben ein Angebot ab und verhandeln dann mit dem Auftraggeber.
Veröffentlichung: 30. September 2025
Sprache der Bekanntmachung: Niederländisch

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Beschreibung

De aankoop van een toestel voor het verwijderen van fotoresistlagen bij hoge temperatuur ofwel een nieuwe BEOL Etch Cluster.

300mm Dry Etch/Strip Platform met 3 Procesmodules zoals hieronder beschreven:
Metaal Dry Etcher geschikt voor metaal, metaaloxiden en diverse HM (Hard Mask) etses
Diepe Si Etcher geschikt voor TSV (Through-Silicon Via)
Dry Stripper of Asher met waterdamp passivatie mogelijkheid Deze procesmodules zijn gericht op verschillende BEOL-toepassingen van legacy-technologieknooppunten tot N3 en verder.

Zuschlag an

LAM Research International

CPV-Codes

Europäische Codes, die den Auftragsgegenstand einordnen. Damit finden wir die Ausschreibungen Ihres Gewerbes.

38000000

Siegerpreise vergleichbarer Aufträge

Ein Viertel unter: 251.579 €
Median: 391.000 €
Ein Viertel über: 678.903 €

Zuschlagsbeträge (netto) der letzten 3 Jahre für 127 Aufträge derselben CPV-Gruppe (3800…), ohne Rahmenvereinbarungen. Die Hälfte der Aufträge liegt zwischen den beiden Quartilen. Quelle TED: überwiegend Aufträge oberhalb der EU-Schwellenwerte, also eher hohe Beträge.

Ähnliche, bereits vergebene Aufträge

Auftrag	Gewinner	Betrag
TDV ETCH Imec EU Pilot line NV · 2. Oktober 2026	Tokyo Electron Limited	–
Automated TEM Analysis Platform Imec EU Pilot line NV · 2. Oktober 2026	FEI EUROPE BV	–
Euv track (hna/lna) Imec EU Pilot line NV · 2. Oktober 2026	Tokyo Electron Europe Limited	–
Ir laser debonder Imec EU Pilot line NV · 2. Oktober 2026	EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH	–
Automatic Capillary Underfill Dispense System Imec EU Pilot line NV · 2. Oktober 2026	MUSASHI ENGINEERING, INC.	–

Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Referenz 637811-2025.