PublizoomAttribution Fournitures
Fourniture d'un équipement de gravure profonde
- Acheteur public
- CEA Grenoble
Grenoble - Lieu d'exécution
- Grenoble
- Montant attribué
- 1 € HTVA
- Fin prévue du contrat
- 18 août 2027
relance probable vers février 2027 - Offres reçues
- 2
- Procédure
- Procédure négociée avec mise en concurrence
Vous déposez d'abord une candidature ; les candidats retenus remettent une offre, puis négocient avec l'acheteur. - Publication
- 7 septembre 2026
- Langue de l'avis
- Français
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Description
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.
L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Attribué à
Codes CPV
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31712100
Prix gagnants des marchés comparables
- Un quart sous
- 320 000 €
- Médiane
- 520 163 €
- Un quart au-dessus de
- 619 928 €
Montants HTVA attribués ces 3 dernières années pour 5 marchés du même groupe CPV (3171…), hors accords-cadres. La moitié des marchés se situe entre les deux quartiles. Source TED : surtout des marchés au-dessus des seuils européens, donc des montants plutôt élevés.
Marchés similaires déjà attribués
| Marché | Gagnant | Montant |
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418 000 € |
Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Référence 614409-2026.