PublizoomAward notice Supplies
Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Notice published in French. The AI analysis summarises it for you in your language.
- Public buyer
- CEA Grenoble
Grenoble - Place of performance
- Grenoble
- Amount awarded
- €1 excl. VAT
- Planned end of contract
- 18 August 2027
likely re-tender around February 2027 - Bids received
- 2
- Procedure
- Competitive negotiated procedure
You first submit an application; shortlisted candidates bid, then negotiate with the buyer. - Publication
- 7 September 2026
- Notice language
- French
AI analysis: go for it or not?
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Description
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.
L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Awarded to
CPV codes
European codes that classify what the contract is about. They are how we find the tenders for your trade.
31712100
Winning prices for comparable contracts
- A quarter below
- €320,000
- Median
- €520,163
- A quarter above
- €619,928
Amounts awarded (excl. VAT) over the last 3 years for 5 contracts in the same CPV group (3171…), excluding framework agreements. Half of the contracts fall between the two quartiles. TED source: mostly contracts above the EU thresholds, so amounts tend to be high.
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Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Reference 614409-2026.