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Vergabebekanntmachung Lieferungen

Fourniture d'un équipement de gravure profonde

Bekanntmachung auf Französisch veröffentlicht. Die KI-Analyse fasst sie für Sie in Ihrer Sprache zusammen.

Öffentlicher Auftraggeber
CEA Grenoble
Grenoble
Ausführungsort
Grenoble
Zuschlagsbetrag
1 € zzgl. MwSt.
Voraussichtliches Vertragsende
18. August 2027
voraussichtliche Neuausschreibung um Februar 2027
Eingegangene Angebote
2
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Aufruf zum Wettbewerb
Sie reichen zuerst einen Teilnahmeantrag ein; die ausgewählten Bewerber geben ein Angebot ab und verhandeln dann mit dem Auftraggeber.
Veröffentlichung
7. September 2026
Sprache der Bekanntmachung
Französisch

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Beschreibung

Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.

L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.

Zuschlag an

CPV-Codes

Europäische Codes, die den Auftragsgegenstand einordnen. Damit finden wir die Ausschreibungen Ihres Gewerbes.

31712100

Siegerpreise vergleichbarer Aufträge

Ein Viertel unter
320.000 €
Median
520.163 €
Ein Viertel über
619.928 €

Zuschlagsbeträge (netto) der letzten 3 Jahre für 5 Aufträge derselben CPV-Gruppe (3171…), ohne Rahmenvereinbarungen. Die Hälfte der Aufträge liegt zwischen den beiden Quartilen. Quelle TED: überwiegend Aufträge oberhalb der EU-Schwellenwerte, also eher hohe Beträge.

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AuftragGewinnerBetrag
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Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Referenz 614409-2026.