Vergabebekanntmachung Lieferungen
Fourniture d'un équipement de gravure profonde
Bekanntmachung auf Französisch veröffentlicht. Die KI-Analyse fasst sie für Sie in Ihrer Sprache zusammen.
- Öffentlicher Auftraggeber
- CEA Grenoble
Grenoble - Ausführungsort
- Grenoble
- Zuschlagsbetrag
- 1 € zzgl. MwSt.
- Voraussichtliches Vertragsende
- 18. August 2027
voraussichtliche Neuausschreibung um Februar 2027 - Eingegangene Angebote
- 2
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Aufruf zum Wettbewerb
Sie reichen zuerst einen Teilnahmeantrag ein; die ausgewählten Bewerber geben ein Angebot ab und verhandeln dann mit dem Auftraggeber. - Veröffentlichung
- 7. September 2026
- Sprache der Bekanntmachung
- Französisch
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Beschreibung
Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 200 mm avec une chambre de gravure profonde du silicium de 200 mm. La chambre de gravure profonde du silicium doit pouvoir effectuer des processus de gravure Bosch et non Bosch Si, être compatible avec les gaz fluorés et effectuer la gravure à travers la plaquette. Cet équipement doit pouvoir traiter différents types de substrats en mode automatique, sans modification ni changement matériel : plaquettes collées (silicium sur verre SOG et silicium sur silicium), plaquettes d'épaisseurs différentes, plaquettes avec couches organiques au dos et plaquettes avec cavités gravées au dos.
L'outil doit être équipé d'un système de détection de fin de processus OES, d'un système de protection des bords biseautés des plaquettes et d'un système de détection de fin de processus pour la gravure Via Reveal.
Zuschlag an
CPV-Codes
Europäische Codes, die den Auftragsgegenstand einordnen. Damit finden wir die Ausschreibungen Ihres Gewerbes.
31712100
Siegerpreise vergleichbarer Aufträge
- Ein Viertel unter
- 320.000 €
- Median
- 520.163 €
- Ein Viertel über
- 619.928 €
Zuschlagsbeträge (netto) der letzten 3 Jahre für 5 Aufträge derselben CPV-Gruppe (3171…), ohne Rahmenvereinbarungen. Die Hälfte der Aufträge liegt zwischen den beiden Quartilen. Quelle TED: überwiegend Aufträge oberhalb der EU-Schwellenwerte, also eher hohe Beträge.
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| Auftrag | Gewinner | Betrag |
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Source : TED – Office des publications de l'Union européenne © Union européenne, données retraitées. Referenz 614409-2026.