PublizoomGunning Leveringen
PVD toestel voor MRAM
- Acheteur public
- Imec EU Pilot line NV
Heverlee - Plaats van uitvoering
- 3001 Heverlee, Vlaams-Brabant
niet gepubliceerd: adres van de aanbestedende overheid - Ontvangen offertes
- 5
- Procedure
- Mededingingsprocedure met onderhandeling
U dient eerst een kandidatuur in; de geselecteerde kandidaten dienen een offerte in en onderhandelen daarna met de aankoper. - Publicatie
- 10 maart 2026
- Taal van de aankondiging
- Nederlands
Analyse IA : y aller ou pas ?
Samenvatting in het Nederlands, criteria, te leveren documenten en verdict GO / NO GO in één minuut.
Onbeperkte analyses tijdens de 14 dagen Pro-proefperiode, zonder kaart.
Beschrijving
de aankoop van een toestel voor het PVD Toestel voor MRAM Een 300mm wafer compatibel, multi-chamber PVD platform ontworpen voor hoge doorvoer van magnetische tunnelkruisingen. Daarnaast moeten de volgende PVD en proceskamerontwerpen worden ondersteund:
- Multi-kathode PVD-kamer
- Een voorreinigingskamer om native oxiden en andere verontreinigingen te verwijderen
- Ontgassing/annealing mogelijkheden
- Een cryogene trap (<100K) optie in, of ex situ van de PVD-modules.
Bovendien moet het platform compatibel zijn met Front Opening Universal Pods met een capaciteit van 25 sleuven, inclusief een Equipment Front End Module en load-lock systeem voor waferinvoer. Ten slotte moet de depositie computerbestuurd en geautomatiseerd zijn volgens gedefinieerde recepten. Als optie moet het platform compatibel zijn met automatische receptupload vanuit fab management software via een gestandaardiseerd protocol, bijvoorbeeld SECS/GEM.
Gegund aan
- Tokyo Electron Europe Limited KBO 0817.807.097
CPV-codes
Europese codes die het voorwerp van de opdracht indelen. Hiermee vinden wij de opdrachten van uw vak.
38000000
Winnende prijzen van vergelijkbare opdrachten
- Een kwart onder
- € 251.579
- Mediaan
- € 391.000
- Een kwart boven
- € 678.903
Gegunde bedragen excl. btw van de voorbije 3 jaar voor 127 opdrachten uit dezelfde CPV-groep (3800…), zonder raamovereenkomsten. De helft van de opdrachten ligt tussen beide kwartielen. Bron TED: vooral opdrachten boven de Europese drempels, dus eerder hoge bedragen.
Gelijkaardige opdrachten die al gegund zijn
| Opdracht | Winnaar | Bedrag |
|---|---|---|
| TDV ETCH Imec EU Pilot line NV · 2 oktober 2026 |
Tokyo Electron Limited | – |
| Automated TEM Analysis Platform Imec EU Pilot line NV · 2 oktober 2026 |
FEI EUROPE BV | – |
| Euv track (hna/lna) Imec EU Pilot line NV · 2 oktober 2026 |
Tokyo Electron Europe Limited | – |
| Ir laser debonder Imec EU Pilot line NV · 2 oktober 2026 |
EV Group Europe & Asia/Pacific GmbH | – |
| Automatic Capillary Underfill Dispense System Imec EU Pilot line NV · 2 oktober 2026 |
MUSASHI ENGINEERING, INC. | – |
Bron: TED – Publicatiebureau van de Europese Unie © Europese Unie, verwerkte gegevens. Referentie 166388-2026.